ТОМСК, 26 июн – РИА Томск. Аспирант Томского госуниверситета систем управления и радиоэлектроники (ТУСУРа) Александр Шестериков в 2026 году завершит создание прототипа установки, автоматизирующей получение многослойных функциональных покрытий для микроэлектроники; в 2027 году он планирует оказывать первые коммерческие услуги, сообщила пресс-служба вуза.
"Проект ElectroLIT направлен на создание компактной автоматизированной установки для электрохимического осаждения многослойных покрытий. Первый целевой продукт – установка для формирования преформ AuSn, которые применяются при монтаже и корпусировании электронных компонентов, в том числе в микроэлектронике и СВЧ-электронике", – приводит пресс-служба вуза слова Шестерикова.
По его словам, в настоящий момент подобные процессы часто выполняются вручную или на дорогостоящем импортном оборудовании: "Это снижает производительность, ухудшает повторяемость результата и создает зависимость от зарубежных поставщиков".
Предполагается, что установка должна автоматизировать процессы: самостоятельно перемещать пластины между реакторами, контролировать параметры растворов, управлять режимами осаждения и выполнять технологические рецепты. Это должны ускорить процесс создания интегральных схем.
"Итоговым результатом ближайшего этапа станет рабочий прототип компактной автоматизированной установки для электрохимического осаждения многослойных покрытий. В более широком смысле результат проекта – создание отечественного технологического решения для предприятий микроэлектроники, НИИ и вузов. В дальнейшем планируется развивать линейку оборудования ElectroLIT", – рассказал аспирант.
По данным пресс-службы, в первой половине 2026 года была подготовлена техническая модель установки, в настоящий момент прорабатывается конструкция, система управления и пользовательский интерфейс. До конца года планируется изготовление и сборка первого прототипа, отладка системы управления, проведение лабораторных испытаний. В 2027-м аспирант планируется приступить к оказанию первых коммерческих услуг.
